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MICHELL針對半導體和高純氣領域濕度異動的解決方案

更新時間:2009-02-23      點擊次數:2102

 

MICHELL針對半導體和高純氣領域濕度異動的解決方案

密析爾儀表公司很高興宣布推出自己的微量水分異動傳感器-Pura Plus。 Pura Plus 是一款在線的微量水分異動傳感器,專為半導體晶圓廠的高純惰性氣體而設計; 適合多點安裝在氣路進入制程工具前的zui末端。 Pura Plus 安裝的管網上,可以快速的(小于一分鐘)偵測出在1 ppb 基準上低至20ppb 的濕度異動。

為了同時保證達到高靈敏度和快速反應的要求,密析爾創(chuàng)造了一種*的偵測算法,并輔以全新的適合高純氣的陶瓷傳感器設計。除此以外,Pura Plus 還可以滿足半導體行業(yè)的特殊的包裝要求,Pura Plus達到了材質和表面處理的zui高標準, 整個裝配和包裝都是在100 級的潔凈室完成。在包裝前,密析爾還要在10-9 bar / 秒的條件下對Pura Plus進行密封性測試,以達到在兩年內免維護和正常工作的設計要求。信號通過MODBUS輸出,以LED交通燈的形式顯示警告和報警狀態(tài)。將來還將具有4-20mA輸出。

這款新的傳感器是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面需求的相應。晶圓廠不斷地在推動技術以達到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價值,使得晶圓廠不斷提高產出,減少由于污染而導致的殘品率。當前規(guī)定大宗散裝惰性氣(N2,Ar)的潮氣污染水平要小于10 ppb, 而趨勢是要降低至1ppb以下。

通常,在大宗散裝氣體進入FAB前的zui末端,通過安裝大型而復雜的儀器來監(jiān)測濕度污染,存在著價格昂貴而且反應速度慢的問題, 而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的; 與此相反,在FAB的內部,由許多的分管,節(jié)點,和使用點而構成的管網,即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測點的下游,潮氣進入卻是經常發(fā)生的,造成的原因可能是微小的泄漏,系統(tǒng)設計缺陷,元件損壞,或者流程上的失敗。Pura Plus 的小巧尺寸和創(chuàng)新概念使得在多個使用點的安裝成為可行,成為保護晶圓制造流程的一個投入少,見效快的手段。

英國MICHELL擁有冷鏡式、陶瓷氧化鋁等濕度傳感器。英國密析爾(MICHELL)儀表為zui大的濕度露點儀表生產廠家,在歐洲濕度檢測領域有過半的*,擁有超過35年的專業(yè)技術,開發(fā)一整套變送器、露點儀、校驗系統(tǒng)等產品,歐盟/美國國家標準實驗室全都是使用MICHELL產品作為標準儀器。珠海恒智電子科技有限公司是英國密析爾(MICHELL)儀表在中國地區(qū)全程銷售技術提供商,咨詢產品。:、6102315   
 
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